真空爐是爐膛內(nèi)的壓力能抽成低於大氣壓力的工業(yè)爐。出現(xiàn)於20世紀(jì)30年代前后。1927年美國(guó)製成電工材料真空退火爐。1953年真空自耗電弧爐在工業(yè)上已用於熔煉海綿鈦。50年代前后真空感應(yīng)爐在工業(yè)上得到廣泛應(yīng)用。1960年美國(guó)研製成油淬真空爐。 真空爐按加熱元件分為真空電阻爐﹑真空感應(yīng)爐﹑真空電弧爐﹑真空自耗電弧爐﹑電子束爐(又稱(chēng)電子轟擊爐)和等離子爐等。

真空爐用電加熱﹐被加熱的工件表面不氧化﹐不脫碳﹐變形小﹐機(jī)械性能好。用真空爐熔煉金屬有利於除去雜質(zhì)﹐成品針孔少﹐偏析小﹑質(zhì)量好。適用於高質(zhì)量﹑高純度﹑難熔金屬的熔煉和加熱﹐例如用於鎢﹑鉬﹑鉭﹑鈮﹑鈦﹑耐熱合金鋼的冶煉和磁性材料﹐電工材料﹑高強(qiáng)鋼﹑不銹鋼﹑工具鋼﹑模具鋼等的熱處理。 

真空爐一般由爐膛﹑電熱裝置﹑密封爐殼﹑真空系統(tǒng)﹑供電系統(tǒng)和控溫系統(tǒng)等組成。密封爐殼一般選用用碳鋼或不銹鋼﹐可拆卸部件的接合面用真空密封材料密封。為防止?fàn)t殼受熱后變形和密封材料受熱變質(zhì)﹐爐殼一般用水冷或氣冷降溫。爐膛位於密封爐殼內(nèi)。根據(jù)爐子用途﹐爐膛內(nèi)部裝有不同類(lèi)型的加熱元件﹐如電阻﹑感應(yīng)線圈﹑電極和電子槍等。熔煉金屬的真空爐爐膛內(nèi)裝有坩堝﹐有的還裝有自動(dòng)澆注裝置和裝卸料的機(jī)械手等。真空系統(tǒng)主要由真空泵﹑真空閥門(mén)和真空計(jì)等組成。 

對(duì)真空爐進(jìn)行維修后，要進(jìn)行烘爐、必須對(duì)真空爐進(jìn)行真空檢漏。真空爐烘爐前，可用1000V搖表檢測(cè)真空爐的絕緣，正常不小于2MΩ。真空爐烘爐分三個(gè)階段：①水分排出期O～200℃，是真空爐保溫層中的水分和真空爐體中潮氣的排出期，必須檢查真空爐真空度，同時(shí)保溫時(shí)間較長(zhǎng)。②真空爐體放氣量大的溫度區(qū)一般在500℃左右，因真空爐放氣量比較大，這時(shí)升溫不超過(guò)50℃/h。保溫時(shí)間一般在60分鐘以上③保溫期1200℃左右，加熱每升高100～200℃，要進(jìn)行保溫一段時(shí)間，升溫過(guò)快易損壞保溫層、真空爐放氣不完全。